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一种本征可拉伸应变传感器及其制备方法与应用
- 专利权人:
- 东北师范大学
- 发明人:
- 赵晓丽,汤庆鑫,童艳红,孙子晶,杨硕
- 申请号：
- CN201911300030.3
- 公开号：
- CN111156891A
- 申请日:
- 2019.17.12
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种本征可拉伸应变传感器及其制备方法与应用。它包括弹性基底和传感层组成;其中,所述传感层为金属电极和碳纳米管层组成的双层复合电极,所述碳纳米管层的另一面设于所述弹性基底上。其制备方法如下:(1)在衬底上制备所述金属电极的图案,然后在所述图案上依次制备所述金属电极和碳纳米管层,得到双层复合电极;(2)在所述双层复合电极的碳纳米管层表面上制备所述弹性基底,得到衬底上图案化应变传感器;(3)将所述衬底上图案化应变传感器中衬底剥离,即得到所述本征可拉伸应变传感器。本发明电导率高且拉伸性好;利用光刻技术得到了兼具高灵敏度和高拉伸性的本征可拉伸应变传感器,可实现人体生理参数的超灵敏全范围监测。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
