钛掺杂无氢类金刚石薄膜、制备方法及其应用
- 专利权人:
- 南京理工大学
- 发明人:
- 江晓红,肖金涛,何纯
- 申请号：
- CN201710771194.9
- 公开号：
- CN109423605A
- 申请日:
- 2017.31.08
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种钛掺杂无氢类金刚石薄膜、制备方法及其应用,所述薄膜由金属钛掺杂到无氢类金刚石薄膜构成,其中,金属钛的掺杂量为4.6~17.5wt%。通过本发明所述制备方法沉积的薄膜具有较好的生物相容性、耐磨擦磨损性和较好的膜基结合力,可以用于修饰医用植入物的表面。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
