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PROBE, SUBJECT INFORMATION ACQUISITION APPARATUS, AND METHOD FOR PRODUCING PROBE
专利权人:
CANON INC;キヤノン株式会社
发明人:
AKIYAMA TAKAHIRO,秋山 貴弘,HOTTA SHIGEHISA,堀田 薫央
申请号:
JP2012226898
公开号:
JP2014076242A
申请日:
2012.10.12
申请国别(地区):
JP
年份:
2014
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem that when a light reflection layer is disposed directly above a vibration membrane of a capacitance-type transducer, change of the vibration membrane spring constant, fluctuation of the vibration membrane deformation amount, etc. may be caused.SOLUTION: A probe according to the present invention is a probe for receiving acoustic waves from a subject and comprises: an element having a cell structure in which is vibratably supported by the acoustic waves a vibration membrane containing one of a plurality of electrodes formed spaced therebetween; a light reflection layer which reflects light and is disposed in a subject side rather than in the element; and a support layer which is disposed between the element and the light reflection layer and supports the light reflection layer. In the probe, the support layer has a breaking stress of 50 MPa or more.【課題】 静電容量型トランスデューサの振動膜直上に光反射層を配置すると、振動膜のばね定数の変化、振動膜の変形量のばらつき等が発生する可能性がある。【解決手段】 本発明のプローブは、被検体からの音響波を受信するためのプローブであって、間隙を隔てて形成された一対の電極のうちの一方の電極を含む振動膜が前記音響波により振動可能に支持されたセル構造を有する素子と、前記素子より被検体側に設けられ、光を反射する光反射層と、前記素子と前記光反射層との間に設けられ、前記光反射層を支持する支持層と、を有し、前記支持層は、破断応力が50MPa以上であることを特徴とする。【選択図】 図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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