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音響波検出装置および音響波検出方法
专利权人:
CANON INC
发明人:
IMAI TORU,今井 亨,TOKITA TOSHINOBU,時田 俊伸
申请号:
JP2014215483
公开号:
JP2016077804A
申请日:
2014.10.22
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an acoustic wave detection apparatus capable of obtaining a high detection sensitivity at low cost.SOLUTION: The acoustic wave detection apparatus projects measurement light onto an interference film and measures the intensity of an acoustic wave incident to the interference film, based on the intensity of the measurement light reflected off the interference film, the acoustic wave detection apparatus comprising: an interference film formed of two opposing reflective layers a first light source 13 for projecting light onto the interference film and capable of changing the wavelength of the light a temperature adjusting unit 19 for adjusting the temperature at the interference film or a peripheral part of the interference film to a predetermined temperature a wavelength control unit 20 which determines, based on the predetermined temperature, the wavelength of the measurement light to be projected from the first light source, and sets the determined wavelength to the first light source a photodetector 16 for detecting the intensity of reflection, or the measurement light which is projected onto and reflected off the interference film and a signal acquisition unit 17 for acquiring an electrical signal corresponding to an acoustic wave incident to the interference film, based on a change of the intensity of the reflection detected by the photodetector.SELECTED DRAWING: Figure 1COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】低いコストで高い検出感度が得られる音響波検出装置を提供する。【解決手段】干渉膜に計測光を照射し、干渉膜で反射した計測光の強度に基づいて、干渉膜に入射した音響波の強度を検出する音響波検出装置であって、対向する二枚の反射層からなる干渉膜と、干渉膜に光を照射する光源であって、光の波長を変更可能な第一の光源13と、干渉膜またはその周辺部の温度を所定の温度に調整する温度調整部19と、第一の光源から照射される計測光の波長を、所定の温度に基づいて決定し、第一の光源に設定する波長制御部20と、計測光が干渉膜で反射した反射光の強度を検出する光検出器16と、光検出器が検出した反射光の強度の変化に基づいて、干渉膜に入射した音響波に対応する電気信号を取得する信号取得部17と、を有する。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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