PROBLEM TO BE SOLVED: To perform imaging at proper resolution corresponding to the aberration of a test object.SOLUTION: In an imaging device, on the basis of a light reception result of light receiving means to receive return light from a measurement object, obtained by using light of aberration corrected by aberration correction means, change means to change at least one diameter of measurement light and return light is controlled.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】 被検査物の収差に応じた適正な分解能で撮像することである。【解決手段】 撮像装置が、収差補正手段により補正された収差の光を用いて得た測定対象の戻り光を受ける受光手段の受光結果に基づいて、測定光と戻り光とのうち少なくとも1つの径を変更する変更手段を制御する。【選択図】 図1
