PROBLEM TO BE SOLVED: To enable more effective subject analysis by performing image processing or image analysis dependent on the directionality of image characteristics.SOLUTION: An examination apparatus according to the present invention comprises: a measurement optical system for scanning a subject to be examined with measuring light from a light source a dividing unit arranged at a position conjugate with the subject, and dividing return light, which is the measuring light returned from the subject, into a plurality of light beams light receiving means for receiving the plurality of light beams obtained by dividing the return light recording means for recording image data of the subject based on a plurality of intensity signals from the light receiving means in association with the direction of division of the return light and analysis means for analyzing the image data on the basis of the associated division direction.SELECTED DRAWING: Figure 6COPYRIGHT: (C)2017,JPO&INPIT【課題】画像特徴の方向性に依存した画像処理或いは画像解析を行うことにより、より効果的な対象物の解析を可能とする。【解決手段】本発明に係る検査装置は、光源からの測定光を被検査物に対して走査する測定光学系と、被検査物に共役な位置に設けられ、測定光の被検査物からの戻り光を複数の光に分割する分割手段と、分割して得た複数の光を受光する受光手段と、受光手段からの複数の強度信号に基づく被検査物の画像データと戻り光の分割方向とを関連付けて記録する記録手段と、関連付けられた分割方向に基づいて画像データを解析する解析手段と、を有することを特徴とする。【選択図】図6
