Mittels selektiver Laserbelichtung und anschließendem Ausätzen der belichteten Bereiche (Selektives laserinduziertes Ätzen) sind in dem zylindrischen Quarzglas-Düsenkörper (14) zwei im wesentlichen zylindrische Austrittskanäle (15a, 15b) mit Austrittsöffnungen (16a, 16b) gebildet. Die im Düsenkörper (14) ausgeformte Fortsetzung (23) des Zuführungskanals (10) ist durch Materialabtrag mittels Picosekundenlaser hergestellt. Der sich quer durch den zylindrischen Querschnitt der Fortsetzung (23) des Zuführungskanals (10) erstreckende Steg (22) dient der Stabilität insbesondere bei hohen Drücken. Der Winkel α zwischen den sich im Punkt S schneidenden Mittelachsen (17a, 17b) der Austrittskanäle (15a, 15b) beträgt etwa 80°. Das Aspektverhältnis zwischen der Länge 1 der Austrittskanäle (15a, 15b) und deren Zylinderdurchmesser beträgt ca. 5:1.By means of selective laser exposure and subsequent etching of the exposed areas (selective laser-induced etching), two substantially cylindrical outlet channels (15a, 15b) with outlet openings (16a, 16b) are formed in the cylindrical quartz glass nozzle body (14). The continuation (23) of the feed channel (10) formed in the nozzle body (14) is produced by material removal by means of a picosecond laser. The web (22) extending transversely through the cylindrical cross-section of the continuation (23) of the feed channel (10) serves for stability, in particular at high pressures. The angle zwischen between the center axes (17a, 17b) of the exit channels (15a, 15b) intersecting at point S is approximately 80 °. The aspect ratio between the length 1 of the outlet channels (15a, 15b) and the cylinder diameter is about 5: 1.
