This sterilization method is a method for sterilizing an object to be sterilized which is accommodated in a chamber (10), the method including a first steam injection step (S104) for injecting steam generated from a first aqueous solution of hydrogen peroxide into a chamber (11), an ozone injection step (S107) for injecting ozone gas into the chamber (11) after the first steam injection step (S104), and a second steam injection step (S109) for injecting steam generated from pure water or steam generated from a second aqueous solution of hydrogen peroxide into the chamber (11) after the ozone injection step (S107).La présente invention concerne un procédé de stérilisation qui est un procédé de stérilisation d'un objet à stériliser qui est logé dans une chambre (10), le procédé comprenant une première étape d'injection de vapeur (S104) pour injecter de la vapeur générée à partir d'une première solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène dans une chambre (11), une étape d'injection d'ozone (S107) pour injecter de l'ozone gazeux dans la chambre (11) après la première étape d'injection de vapeur (S104), et une seconde étape d'injection de vapeur (S109) pour injecter de la vapeur générée à partir d'eau pure ou de vapeur générée à partir d'une seconde solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène dans la chambre (11) après l'étape d'injection d'ozone (S107).滅菌方法は、チャンバー（１１）に収容された滅菌対象物を滅菌する方法であって、チャンバー（１１）の内部に、過酸化水素の第１水溶液から生成された蒸気を注入する第１蒸気注入工程（Ｓ１０４）と、第１蒸気注入工程（Ｓ１０４）の後に、チャンバー（１１）の内部にオゾンガスを注入するオゾン注入工程（Ｓ１０７）と、オゾン注入工程（Ｓ１０７）の後に、チャンバー（１１）の内部に、純水から生成された蒸気又は過酸化水素の第２水溶液から生成された蒸気を注入する第２蒸気注入工程（Ｓ１０９）とを含む。
