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一种具有分级压峰结构的电子皮肤及其制备方法
- 专利权人:
- 华中科技大学
- 发明人:
- 黄禹,吴从义,荣佑民,张田
- 申请号：
- CN201910951075.0
- 公开号：
- CN110693469A
- 申请日:
- 2019.08.10
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明属于传感器技术领域,并公开了一种具有分级压峰结构的电子皮肤及其制备方法,该电子皮肤包括柔性衬底和电极封装层,柔性衬底表面具有凸起结构,凸起结构表面溅射有压敏感应层,电极封装层为下表面具有导电功能的柔性薄膜,其下表面制备有网状的绝缘网层,电极封装层设置在凸起结构的顶部,且其上的绝缘网层与凸起结构顶部贴合,绝缘网层与所述柔性衬底边缘之间还设置有保持架,保持架的上表面与绝缘网层粘接,下表面与柔性衬底粘接。所述方法包括以下步骤:制备表面溅射有压敏感应层的柔性衬底;制备带绝缘网层的电极封装层;制备保持架并封装。本发明可获得灵敏度高、感应范围广的电子皮肤,具有简单易得,性能优异等优点。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
