基于预拉伸方法的电容型柔性压力传感器及其制备方法和应用
- 专利权人:
- 天津大学
- 发明人:
- 邹强,苏奇
- 申请号:
- CN201910697423.6
- 公开号:
- CN110346079A
- 申请日:
- 2019.30.07
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明公开了一种基于预拉伸方法的电容型柔性压力传感器及其制备方法和应用,电容型柔性压力传感器包括:固态聚二甲基硅氧烷层、上电极层和下电极层,固态聚二甲基硅氧烷层的材质为聚二甲基硅氧烷,固态聚二甲基硅氧烷层由一平板状结构和连接在该平板状结构的顶端的聚二甲基硅氧烷微柱阵列组成,本发明首次提出利用聚碳酸酯模板法制备电容型柔性压力传感器,本发明的制备方法利用聚碳酸酯模板采取自下而上的方式制备传感器介电层,简单有效。制作出的电容型柔性压力传感器的灵敏度达到6.7kPa‑1,在脉搏较微弱的前提下,本发明的电容型柔性压力传感器仍旧可以将脉搏信号准确的检测出来,且能够识别出脉搏的波形。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心