波面計測装置及び光学系組み立て装置
- 专利权人:
- 三菱電機株式会社
- 发明人:
- 尾野 仁深,鈴木 二郎,三輪 佳史,安藤 俊行
- 申请号：
- JP20170502726
- 公开号：
- JP6125131(B1)
- 申请日:
- 2016.08.22
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 被検光学系（３）を照明し、複数の波面計測視野の光束を被検光学系３から出射させる光源系（２６）と、被検光学系（３）から出射される複数の波面計測視野の光束を計測し、波面収差を算出する１つの波面センサ（２８）と、被検光学系（３）から出射される複数の波面計測視野の光束を、波面センサ（２８）に選択的に入射させる光路光学系（３１）とを備える。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
