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光照射装置、光照射方法および光照射プログラム
专利权人:
CANON INC
发明人:
MASUMURA TAKAHIRO,増村 考洋
申请号:
JP2016247622
公开号:
JP2018100923A
申请日:
2016.12.21
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To cause light to be focused by high enhancement depending on a desired position as in the inside of a medium, etc.SOLUTION: A light irradiation device comprises: spatial light modulation means 107 for modulating light from a light source 100 and forming a wavefront of the light an optical system 108 for irradiating a medium with the light having had the wavefront formed detection means 110 for detecting a signal generated from the medium irradiated with the light and control means 111 for carrying out an optimization process for causing a wavefront to be formed by the spatial light modulation means so that the strength of a signal detected in the inside of the medium or at an external detection position. The control means acquires a strength distribution of the signal in a prescribed region that includes the detection position, carries out a correction process for correcting the detection position or the signal on the basis of the strength distribution, and carries out an optimization process so that the strength of the signal after the correction process increases.SELECTED DRAWING: Figure 1COPYRIGHT: (C)2018,JPO&INPIT【課題】媒質の内部等の所望の位置により高いエンハンスメントで光をフォーカスさせる。【解決手段】光照射装置は、光源100からの光を変調して該光の波面を成形する空間光変調手段107と、波面が成形された光を媒質に照射する光学系108と、光が照射された媒質から発生する信号を検出する検出手段110と、媒質の内部または外部の検出位置において検出される信号の強度が増加するように空間光変調手段に波面を成形させる最適化処理を行う制御手段111とを有する。制御手段は、検出位置を含む所定領域での信号の強度分布を取得し、該強度分布に基づいて検出位置または信号を補正する補正処理を行い、該補正処理後の信号の強度が増加するように最適化処理を行う。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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