(과제) 감각적 또는 경험적인 처리 조건의 설정에 의존하는 일 없이 창 부재의 파손을 회피하는 것이 가능한 플라즈마 처리 장치를 제공한다. (해결 수단) 플라즈마 처리 장치(11)의 제어 장치(100)는, 기판 G에 대한 플라즈마 처리의 레시피의 입력을 받고, 받은 레시피로 플라즈마 처리를 실행했을 때에 처리 공간 S와 유도 결합 안테나(50)의 사이에 배치된 창 부재(22)에 포함되는 유전체에 파손이 생기는지 여부를, 그 레시피로 플라즈마 처리를 반복 실행하여 창 부재(22)의 온도가 평형 상태가 되었을 때의 창 부재(22)에 설정된 복수의 온도 예측점에서의 예측 도달 온도의 차이에 근거하여 판정하고, 창 부재(22)에 파손이 생긴다고 판정한 경우에 받은 레시피를 기억부(102)에 등록하지 않고, 창 부재(22)에 파손이 생기지 않는다고 판정한 경우에 기억부(102)에 레시피를 등록하
