마스크 (M) 를 유지하는 메인 스테이지 (40) 의 ＋Y 측, －Y 측 각각에, 스캔 방향인 X 축 방향으로 긴 스트로크로 이동 가능한 서브 스테이지 (50, 70) 를 배치한다. 메인 스테이지 (40) 에 형성된 자석 유닛을 포함하는 Y 가동자 (44) 와, 서브 스테이지 (50) 에 형성된 코일 유닛을 포함하는 Y 고정자 (88) 로 이루어지는 보이스 코일 모터를 이용하여, 메인 스테이지 (40) 를 서브 스테이지 (50, 70) 에 대해 크로스 스캔 방향인 Y 축 방향으로 미소 구동한다. 한편, 로크 장치 (100a ∼ 100d) 를 이용하여 메인 스테이지 (40) 를 서브 스테이지 (50, 70) 각각에 접촉 (또는 비접촉) 상태로 접속한다. 서브 스테이지 (50, 70) 를 구동하는 것만으로 메인 스테이지 (40) 를 X 축 방향으로 이동시킨다.
