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MOBILE APPARATUS POWER TRANSMISSION APPARATUS EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
专利权人:
가부시키가이샤 니콘
发明人:
아오키 야스오
申请号:
KR20117029995
公开号:
KR101693168(B1)
申请日:
2010.05.14
申请国别(地区):
韩国
年份:
2017
代理人:
摘要:
마스크 (M) 를 유지하는 메인 스테이지 (40) 의 +Y 측, -Y 측 각각에, 스캔 방향인 X 축 방향으로 긴 스트로크로 이동 가능한 서브 스테이지 (50, 70) 를 배치한다. 메인 스테이지 (40) 에 형성된 자석 유닛을 포함하는 Y 가동자 (44) 와, 서브 스테이지 (50) 에 형성된 코일 유닛을 포함하는 Y 고정자 (88) 로 이루어지는 보이스 코일 모터를 이용하여, 메인 스테이지 (40) 를 서브 스테이지 (50, 70) 에 대해 크로스 스캔 방향인 Y 축 방향으로 미소 구동한다. 한편, 로크 장치 (100a ∼ 100d) 를 이용하여 메인 스테이지 (40) 를 서브 스테이지 (50, 70) 각각에 접촉 (또는 비접촉) 상태로 접속한다. 서브 스테이지 (50, 70) 를 구동하는 것만으로 메인 스테이지 (40) 를 X 축 방향으로 이동시킨다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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