PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection apparatus which realizes a higher frame rate when generating an image of a subject with less distortion by scanning illumination light.SOLUTION: Provided is an inspection apparatus including scan control means, the scan control means allowing two-dimensionally scanning of a subject with illumination light in first and second fields in a data acquisition range in the subject, using a first scan member scanning the subject with illumination light in a main scan direction in a reciprocating manner and a second scan member scanning the subject with the illumination light at a constant speed in a sub-scan direction. The inspection apparatus comprises: means for setting, in each of the first and second fields, a data acquisition position to acquire data from return light from the subject； selection means for selecting, from the first and second fields, data acquired from at least two data acquisition positions closer to new positions consecutively, in order to generate data on new positions uniformly spaced in the sub-scan direction； and image generation means for generating an image using the data on the new positions generated from the selected data.SELECTED DRAWING: Figure 2【課題】照明光を走査して画像歪を低減した被検体の画像を生成する際に、高フレームレート化を進めた検査装置を提供する。【解決手段】照明光を被検体における主走査方向で往復走査する第一の走査部材と、副走査方向で前記照明光を等速で走査する第二の走査部材とにより、被検体におけるデータ取得範囲において照明光を第一フィールドおよび第二フィールドで２次元走査させる走査制御手段を有する検査装置に、第一フィールドおよび第二フィールドの各々において、被検体からの戻り光よりデータを取得するデータ取得位置を設定する手段と、副走査方向に等間隔に配置された新たな位置のデータを生成するために、新たな位置に近い順の少なくとも二つのデータ取得位置にて取得されたデータを第一フィールドおよび第二フィールドから選択する選択手段と、選択されたデータより生成された新たな位置のデータを用いて画像を生成する画像生成手段と、を配する。【選択図】図２
