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X-ray device, X-ray inspection method, and data processing device
专利权人:
株式会社ジョブ
发明人:
山河 勉,山本 修一郎
申请号:
JP2019525632
公开号:
JPWO2018235823A1
申请日:
2018.06.19
申请国别(地区):
JP
年份:
2020
代理人:
摘要:
In X-ray inspection, the effect of beam hardening on X-ray attenuation is reduced, the increase of noise in the image is suppressed, the contrast is further improved, and the quantitativeness of the thickness of the object in the X-ray path direction is secured. . It has a detection unit (26) with a detector (24). This detection unit detects the amount of transmission of X-rays generated by the X-ray generator (23) that has passed through an object for each of n preset energy ranges (n is a positive integer of 2 or more). It is detected and a detection signal corresponding to the permeation amount is output. An information acquisition unit (51) acquires information on the thickness t of the object along the transmission path of the X-ray flux bundle and the average linear attenuation coefficient μ for each energy range based on the detection signal. The pixel data calculation unit (52) calculates pixel data having a pixel value that is a product of the addition information of the average line attenuation coefficient μ for each energy range and the thickness t, based on the acquired information. .X線検査において、ビームハードニングがX線減弱に及ぼす影響を軽減し、画像のノイズの増加を抑え且つコントラスをより向上させるとともに、対象物のX線パス方向の厚さに対する定量性も確保する。検出器(24)を備えた検出ユニット(26)を有する。この検出ユニットは、予め設定したn個(nは2以上の正の整数)のエネルギー範囲のそれぞれ毎に、X線発生装置(23)により発生されたX線の対象物を透過した透過量を検出し、当該透過量に応じた検出信号を出力する。情報取得部(51)は、その検出信号に基づき、エネルギー範囲毎に、X線の線束の透過パスに沿った対象物の厚さtと平均線減弱係数μの情報を取得する。画素データ演算部(52)は、その取得された情報に基づいてエネルギー範囲毎の平均線減弱係数μの相互間の加算情報と厚さtとの乗算値を画素値とする画素データを演算する。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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