In the X-ray inspection, the effect of beam hardening on the X-ray attenuation is alleviated, and the increase in the noise of the image is suppressed, the contrast is further improved, and the quantitativeness of the thickness of the object in the X-ray path direction Also secure (定量 性). It has a detection unit 26 with a detector 24. This detection unit detects the permeation amount which permeate transmitted the X-ray object generate occur produced by the X-ray generation apparatus 23 for every n energy range preset (n is a positive integer of 2 or more), The detection signal corresponding to the transmission amount is output. The information acquisition part 51 acquires the information of the thickness t of the target object and the average line weakening coefficient (mu) according to the permeation transmission path route of X-rays for every energy range based on the detection signal. On the basis of the obtained information, the pixel data calculating unit 52 calculates pixel data whose pixel value is a multiplication value between the addition information of the average line decay coefficient μ for each energy range and the thickness t.X선 검사에 있어서, 빔하드닝이 X선 감약(減弱)에 미치는 영향을 경감 해, 화상의 노이즈의 증가를 억제하고 콘트라스트를 보다 향상시키는 동시에, 대상물의 X선 패스 방향의 두께에 대한 정량성(定量性)도 확보한다. 검출기(24)를 갖춘 검출 유닛(26)을 가진다. 이 검출 유닛은, 미리 설정한 n개(n은 2 이상의 정(正)의 정수)의 에너지 범위의 각각 마다, X선 발생 장치(23)에 의해 발생된 X선의 대상물을 투과한 투과량을 검출하고, 상기 투과량에 따른 검출 신호를 출력한다. 정보 취득부(51)는, 그 검출 신호에 근거해, 에너지 범위 마다, X선의 선속의 투과 패스에 따른 대상물의 두께(t)와 평균 선감약 계수(μ)의 정보를 취득한다. 화소 데이터 연산부(52)는, 그 취득된 정보에 근거해 에너지 범위 마다의 평균 선감약 계수(μ)의 상호 간의 가산 정보와 두께(t)와의 승산값을 화소치로 하는 화소 데이터를 연산한다.
