IGOT G VISHTAK,イゴール・ジー・ヴィシタク,GIUSEPPE SACCA,ジュゼッペ サッカ
申请号：
JP2014227382
公开号：
JP2016087261A
申请日:
2014.11.07
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要：
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a hermetic connection structure in which a material can be transferred between a first transfer space in a non-cleaned environment and a second transfer space where various treatments are performed on a cleaned material via a material transfer opening, without being contaminated by the first transfer space.SOLUTION: A plurality of flange rings 2, 3, 5 to 8 are sequentially and hermetically mounted on a material transfer opening, from a peripheral edge on a side close to first and second transfer spaces toward the center. A connection member 10 is integrally fixed to the center opening of the innermost flange ring 8. The flange ring 8 can slide and rotate on an adjacent flange ring 6 having an inner side with which the flange ring 8 hermetically engages and the flange ring 8 also rotates by interlocking with the connection member 10. The flange ring 8 has, on a second transfer space side, a door body 11 for opening and closing the center opening of the connection member 10, and a locking/releasing mechanism of the door body 11, and has, on a first transfer space side, an opening/closing operation member and a locking/releasing operation member of the door body 11 and a rotation handle 9 of the connection member 10.SELECTED DRAWING: Figure 5COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】非清浄化環境の第1移送空間と、清浄化された材料の各種処理がなされる第2移送空間との間を、第1移送空間により汚染されることなく材料を材料移送用開口を介して移送可能とした封密連結構造を提供する。【解決手段】材料移送用開口の第1及び第2移送空間側の周縁から中心に向けて封密的に複数のフランジリング2,3,5~8が順次取り付けられ、最も中心部のフランジリング8の中央開口部に連結部材10が一体に固設され、フランジリング8は封密的に係合する内側に隣接するフランジリング6に摺接回転可能であり、且つ連結部材10と連動して回転し、フランジリング8の第2移送空間側には連結部材10の中央開口部を開閉する扉体11と扉体11のロック/解除機構、フランジリング8の第1移送空間側には扉体11の開閉操作部材とロック/解除操作部材及び連結部材10の回転ハンドル9を有する。【選択図】図5
