Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung (1) zur Materialbearbeitung eines Werkstücks (2), wobei die Vorrichtung (1) einen gepulsten Bearbeitungslaser (7), eine Fokussieroptik (11) und eine Strahlablenkseinheit (10) aufweist, sowie eine Steuereinheit (22) und eine vorzugsweise konfokale Detektoreinheit (18). Die Intensität der Laserstrahlung (8) ist variabel. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass eine Bildgebungseinheit (14) unter Verwendung elektromagnetischer Strahlung (15) zum Erfassen von Strukturen innerhalb des Werkstücks (2) vorgesehen ist, wobei die elektromagnetische Strahlung (15) der Bildgebungseinheit (14) über die Stahlablenkeinheit (10) und die Fokussieroptik (11) in das Werkstück (2) einstrahlbar ist, und dass eine Auswerteeinheit (24) vorgesehen und dazu eingerichtet ist, die mittels der Detektoreinheit (18) ermittelte Position des Fokus (12) der Laserstrahlung (8) zu vergleichen mit der erwarteten Lage des Fokus (12) in dem von der Bildgebungseinheit (14) gewonnenen Bild des Werkstücks (2). Die Erfindung bezieht sich auch auf ein Verfahren zum Kalibrieren einer Vorrichtung (1) zur Materialbearbeitung eines Werkstücks (2).The invention relates to a device (1) for processing material of a workpiece (2), wherein the device (1) comprises a pulsed processing laser (7), a focussing lens (11) and a beam-deflection unit (10), and also a control unit (22) and a preferably confocal detector unit (18). The intensity of the laser radiation (8) is variable. The invention is characterised in that an imaging unit (14) is provided to detect structures within the workpiece (2) using electromagnetic radiation (15), wherein the electromagnetic radiation (15) of the imaging unit (14) can be radiated via the beam-deflection unit (10) and the focussing lens (10) into the workpiece (2), and in that an evaluating device (24) is provided and is designed to compare the position of the focus (12) of the laser radiation (8) determined by means of the detector un
