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PROCESS FOR MANUFACTURING A SEALED MEMS PACKAGE CAVITY WITH FLAP PROTECTING THE CAVITY DURING THE SEALING PROCESS
专利权人:
COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
发明人:
REIG, Bruno,SAINT-PATRICE, Damien
申请号:
EP20160206514
公开号:
EP3184486(A1)
申请日:
2016.12.22
申请国别(地区):
欧洲专利局
年份:
2017
代理人:
摘要:
Procédé de réalisation d'une cavité, comportant :
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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