PROCESS FOR MANUFACTURING A SEALED MEMS PACKAGE CAVITY WITH FLAP PROTECTING THE CAVITY DURING THE SEALING PROCESS
- 专利权人:
- COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
- 发明人:
- REIG, Bruno,SAINT-PATRICE, Damien
- 申请号：
- EP20160206514
- 公开号：
- EP3184486(A1)
- 申请日:
- 2016.12.22
- 申请国别(地区):
- 欧洲专利局
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- Procédé de réalisation d'une cavité, comportant :
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
