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INTERFÉROMÈTRE À DÉCALAGE DE PHASE
专利权人:
小川 憲介;株式会社フジクラ;Fujikura Ltd.;OGAWA Kensuke
发明人:
OGAWA Kensuke,小川憲介
申请号:
JPJP2012/054379
公开号:
WO2012/132665A1
申请日:
2012.02.23
申请国别(地区):
JP
年份:
2012
代理人:
摘要:
Provided is a phase shift interferometer which comprises: a light source; an incident light path; a light circulation unit; a connection path; a light splitting/combining unit; a probe light path; a reference light path; a test sample measurement unit; a light terminal; a light-phase shifting unit which is provided in either the probe light path or the reference light path, and subjects light to phase shifting by a phase shift quantity of αi/2 (radian units, where αi is a real number, the range of values taken by αi is 0≤αi≤3π/2, and i is an integer where 3 ≤ i), and periodically changes the phase shift quantity of αi/2; a light-emission path; a light detector which outputs an interference signal; a controller for controlling the phase shift quantity in the light-phase shifting unit and the cycle at which the phase shift is controlled, in synchronization with each wavelength sweep of propagation light of the light source, and for generating a sampling signal for sequentially acquiring the interference signal corresponding to the ith light component in the order by which i increases within one cycle of the phase shifting; and a data acquisition unit for sequentially acquiring the interference signal corresponding to the ith light component each time the sampling signal is supplied.La présente invention concerne un interféromètre à décalage de phase qui comprend : une source de lumière ; un trajet de lumière incidente ; une unité de circulation de lumière ; un trajet de liaison ; une unité de partage/combinaison de lumière ; un trajet de lumière de sonde ; un trajet de lumière de référence ; une unité de mesure d'échantillon d'essai ; un terminal de lumière ; une unité de décalage de phase de lumière qui est disposée soit dans le trajet de lumière de sonde soit dans le trajet de lumière de référence, et soumet de la lumière à un décalage de phase par une quantité de décalage de phase de αi/2 (unités radian, où αi est un nombre réel, la plage des valeurs prises par αi
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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