PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser beam machining device by which a size of a light spot formed on a surface of a work object is maintained at a predetermined size when laser beam machining a surface of a work object of a shape of a cylinder pipe with a very small diameter.SOLUTION: To a work object OB of a shape of a cylinder pipe prolonged in an X-axis direction, a machining laser beam is irradiated to a Z-axis direction from a head 10 for work, a Z-axis direction laser beam for a servo is irradiated to a Z-axis direction from a Z-axis direction light head 20 for a servo, and a Y-axis direction laser beam for a servo is irradiated to a Y-axis direction from a Y-axis direction light head 30 for a servo. A deviation of an Y-axis direction of a work object OB is detected by a position of a projection of a work object OB projected on a photograph detector 118, and a deviation of an Z-axis direction of a work object OB is detected by a position of a projection of a work object OB projected on a photograph detector 402. An objective lens 112 is actuated based on a detected deviation.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】 直径が非常に小さい円筒パイプ状の加工対象物の表面をレーザ加工する場合に、加工対象物の表面に形成される光スポットの大きさが所定の大きさに保たれるようにしたレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 X軸方向に延びた円筒パイプ状の加工対象物OBに対して、加工用ヘッド10からZ軸方向に加工用レーザ光を照射するとともに、サーボ用Z軸方向光ヘッド20からサーボ用Z軸方向レーザ光をZ軸方向に照射し、サーボ用Y軸方向光ヘッド30からサーボ用Y軸方向レーザ光をY軸方向に照射する。フォトディテクタ118に映し出される加工対象物OBの射影の位置により加工対象物OBのY軸方向のずれを検出し、フォトディテクタ402に映し出される加工対象物OBの射影の位置により加工対象物OBのZ軸方向のずれを検出する。検出したずれに基づいて、対物レンズ112を駆動する。【選択図】 図1
