PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of an ultrasonic probe in which deterioration of piezoelectric effect due to cutting of a piezoelectric subjected to polarization treatment can be minimized.SOLUTION: In the first step, an acoustic matching layer 40 and a backing layer 10 are laminated on a composite piezoelectric having a plurality of columnar piezoelectric elements 31 arranged in at least one-dimensional array at predetermined intervals, and a polymer layer 32 composed of a polymer material located between the piezoelectric elements 31, and provided with an electrode 21 and a common electrode 22 on a surface transmitting/receiving ultrasonic waves and a surface facing that surface. In the second step, the composite piezoelectric is cut together with the acoustic matching layer 40 along the polymer layer 32 from the side opposite from the side provided with the backing layer 10, thus forming a plurality of ultrasonic vibrators 33 in array.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】分極処理された圧電体の切削加工による圧電効果の劣化を抑制することができる超音波探触子の製造方法を提供する。【解決手段】第1の工程において、少なくとも1次元アレイ状に所定間隔に配列された複数の柱状の圧電素子31と、圧電素子31の間に位置する高分子材からなる高分子層32とを有し、超音波を送受する面及びそれに対向する面に電極21及び共通電極22が設けられた複合圧電体に、音響整合層40及びバッキング層10を積層して設ける。そして、第2の工程において、複合圧電体を、バッキング層10が設けられる側とは反対側から、音響整合層40とともに、高分子層32に沿って切断して、超音波振動子33をアレイ状に複数形成する。【選択図】図3
