QIU XIAOFEI,シャオフェイ キュー,JAMES ERIC SCOTT,ジェイムズ エリック スコット,LIONEL MONGIN,ライオネル モンジャン,JEREMIE SIMON,ジェレミー サイモン,PIERRE MARIE JEAN PIEL,ピエール マリー ジーン ピール
申请号：
JP2017066739
公开号：
JP2018022675A
申请日:
2017.03.30
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要：
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a decompression system.SOLUTION: A decompression system comprises: an RF signal supply source； an electrode that is close to a cavity in which a load to be decompressed is positioned； a transmission passage between the RF signal supply source and the electrode； and an impedance matching network that is electrically coupled along the transmission passage between an output of the RF signal supply source and the electrode. The system includes a power detection circuit coupled with the transmission passage, and is constructed so as to detect a reflection signal power along the transmission passage. A system controller is configured so as to correct an inductance value of the impedance matching network on the basis of the reflection signal power, and reduce a ratio of the reflection signal power to a forward direction signal power. The impedance matching network includes: a plurality of fixed value integrated inductors positioned in a fixed inductor region.SELECTED DRAWING: Figure 1【課題】 解凍システムを提供する。【解決手段】 解凍システムは、ＲＦ信号供給源と、解凍しようとするロードがその中に位置決めされるキャビティに近接した電極と、ＲＦ信号供給源と電極との間の伝達経路と、ＲＦ信号供給源の出力と電極との間の伝達経路に沿って電気的に結合されているインピーダンス整合ネットワークとを備える。また、システムは、伝達経路に結合されている電力検出回路を含み、伝達経路に沿って反射信号電力を検出するように構成されている。システム・コントローラは、反射信号電力に基づいて、インピーダンス整合ネットワークのインダクタンス値を修正して、順方向信号電力に対する反射信号電力の比を低減させるように構成されている。インピーダンス整合ネットワークは、固定インダクタ領域の中に位置決めされている複数の固定値集中インダクタを備える。【選択図】 図１
