PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a piezoelectric element capable of reducing cost.SOLUTION: A method of manufacturing a piezoelectric element includes the steps of: forming a first electrode layer (S102) forming a piezoelectric body layer above the first electrode layer (S104) forming a second electrode layer above the piezoelectric body layer (S106) forming a resist layer above the second electrode layer (S108) patterning the second electrode layer by wet-etching (S110) patterning the piezoelectric body layer by wet-etching (S112) and removing eaves on the second electrode generated by side-etching at the step of patterning the piezoelectric body layer, by wet-etching (S114).SELECTED DRAWING: Figure 2COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】低コスト化を図ることができる圧電素子の製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、第1電極層を形成する工程(S102)と、第1電極層の上方に圧電体層を形成する工程(S104)と、圧電体層の上方に第2電極層を形成する工程(S106)と、第2電極層の上方にレジスト層を形成する工程(S108)と、第2電極層をウェットエッチングによりパターニングする工程(S110)と、圧電体層をウェットエッチングによりパターニングする工程(S112)と、圧電体層をパターニングする工程におけるサイドエッチにより生じた第2電極の庇部を、ウェットエッチングにより除去する工程(S114)と、を含む。【選択図】図2
