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粒子濃度分布が一様なサンプル作成装置、及びナノ粒子膜成膜装置
专利权人:
株式会社島津製作所
发明人:
奥田 浩史
申请号:
JP20160142783
公开号:
JP2017009615(A)
申请日:
2016.07.20
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
【課題】シース流を用いないで、特定の測定電極で電気移動度範囲の明確な帯電粒子を検出でき、また粒子濃度分布が一様で、かつ元の空間に存在する粒子濃度との関係が定量的に明らかなサンプルを作成する装置を提供する。【解決手段】内部を流れる試料ガスが層流となりうる平行な流路の入口側12には帯電器が配置され、帯電器は放電電極20を含んで試料ガス中の微粒子を帯電させる。その流路の対向する一対の面の一方の面上には、帯電器の下流に1又は複数の吸引側電極24、26が流路方向に沿って流路の入口から互いに異なる距離の位置に配置されている。その流路の対向する一対の面の他方の面上には分級電極30が配置されている。分級電極は吸引側電極に対向して配置され、吸引側電極との間に流路10を流れる試料ガス中の帯電微
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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