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复合纳米半导体Cl2敏感材料In2O3/Nb2O5/Pt的制备方法
- 专利权人:
- 哈尔滨理工大学;哈尔滨源创微纳科技开发有限公司
- 发明人:
- 施云波,赵文杰,周真,修德斌,冯侨华,何梦资
- 申请号:
- CN201010032466.1
- 公开号:
- CN101769888B
- 申请日:
- 2010.01.14
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2012
- 代理人:
- 荣玲
- 摘要:
- 复合纳米半导体Cl2敏感材料In2O3/Nb2O5/Pt的制备方法,它涉及一种Cl2敏感材料的合成方法。本发明解决了现有方法制作得到的敏感材料敏感性差,使得Cl2传感器普遍存在着功耗高,体积大,只能进行低浓度检测的问题。方法:一、原料混合得到共沉积混合物;二、离心、抽滤、干燥;三、制作In2O3/Nb2O5纳米粉体;四、制作Cl2敏感材料In2O3/Nb2O5/Pt。本发明得到复合纳米半导体材料In2O3/Nb2O5/Pt对Cl2敏感性好,使用本发明制备的Cl2敏感材料In2O3/Nb2O5/Pt的Cl2传感器能检测Cl2的量程为0~500ppm,且功耗低,体积小。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/