Method for aligning carbon nanotubes via solution type carbon nanotubes method for fabrication of aligned semiconductor carbon nanotube wafer and aligned semiconductor carbon nanotube wafer
본 발명의 일 실시예에 의한 용액공정 기반 탄소나노튜브 정렬 방법은, (a) 절연막이 형성된 기판을 준비하는 단계; (b) 상기 절연막상에 전기영동법 적용을 위한 전극 베이스층을 형성하는 단계; (c) 상기 전극 베이스층을 패터닝하여 전기영동 전극을 형성하는 단계; 및 (d) 상기 기판상에 탄소나노튜브가 포함된 용액을 인가한 후 전기영동을 실시하여 탄소나노튜브들을 정렬시키는 단계를 포함하고, 상기 전기영동 전극은 탄소 기반 전극을 포함하여, 탄소나노튜브들을 완벽하게 정렬시킬 수 있고 전기영동 전극과 정렬된 탄소나노튜브들 간에 단차가 발생하지 않아 두께가 일정한 탄소나노튜브 배선을 형성할 수 있으며, 전기영동 전극을 별도의 후속 공정으로 제거할 필요없이 추후 회로 형성 공정시의 식각 공정으로 제거할 수 있어 공정을 단순화할 수 있으며, 정제 공
