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有機イリジウム化合物からなる化学蒸着用原料及び化学蒸着法、並びに、電気化学用触媒の製造方法
- 专利权人:
- 田中貴金属工業株式会社
- 发明人:
- 榎本 貴男,原田 了輔,鈴木 和治
- 申请号:
- JP20150123420
- 公开号:
- JP2017008351(A)
- 申请日:
- 2015.06.19
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 【課題】酸化イリジウムと酸化ケイ素とを含む酸化イリジウムの単体と同等の活性を有する複合材料からなる薄膜を製造するために好適な原料物質、及び、薄膜製造方法の提供。【解決手段】有機イリジウム化合物からなり、化学蒸着法によりイリジウム及びケイ素を含む薄膜を製造するための化学蒸着用原料であって、前記有機イリジウム化合物は、イリジウムに、シクロペンタジエン又はその誘導体及びトリアルキルシリル基が配位した次式で示される有機イリジウム化合物である化学蒸着用原料。(R1〜R5は各々独立にH又はC1〜3のアルキル;R6〜R11は各々独立にC1〜6のアルキル)【選択図】図1
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址:
- http://www.ckcest.cn/home/