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化学蒸着装置、化学蒸着方法
- 专利权人:
- 三菱マテリアル株式会社
- 发明人:
- 龍岡 翔,山口 健志
- 申请号：
- JP20160135275
- 公开号：
- JP2017020111(A)
- 申请日:
- 2016.07.07
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】複数の被成膜物に均質な皮膜を形成することができる化学蒸着装置を提供する。【解決手段】被成膜物が収容される反応容器と、反応容器内に設けられたガス供給管と、反応容器内でガス供給管を回転軸周りに回転させる回転駆動装置と、を有し、ガス供給管の内部は、回転軸に沿って延びる第１ガス流通部と第２ガス流通部とに区画され、前記ガス供給管の管壁には、周方向に隣り合って配置された少なくとも３つ以上のガス噴出口からなるガス噴出口の組が設置され、前記ガス噴出口の組は、前記第１ガス流通部に流通する第１ガスを前記反応容器内に噴出させる第１ガス噴出口と、前記第２ガス流通部に流通する第２ガスを前記反応容器内に噴出させる第２ガス噴出口をそれぞれ少なくとも一つ以上含む、化学蒸着装置。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
