The present invention relates to a sterilization sensor (50) installed in a sterilization device for sterilizing a sterilization object by using plasma-state hydrogen peroxide steam. Also, suggested is a sterilization apparatus having the sterilization sensor (50) installed therein, and a sterilization method. The sterilization sensor (50) of the present invention is installed in a sterilization chamber (100) of the sterilization apparatus, and is formed in a container shape having a reaction chamber therein. The sterilization sensor (50) comprises: a hydrogen peroxide feeding unit connected with the body of the sterilization apparatus through connectors (55, 57) of both ends of the container shape, and feeding hydrogen peroxide into the reaction chamber and a plasma generating unit for making the reaction chamber into a plasma state by applying a high voltage to both ends of the container shape. A sterilization object is sterilized by discharging plasma-state hydrogen peroxide radicals to the sterilization chamber of the sterilization apparatus.COPYRIGHT KIPO 2017본 발명은 플라즈마 상태의 과산화수소 증기를 이용하여 멸균 오브젝트를 멸균하는 멸균장치에 내장되는 멸균센서(50)에 관한 것이다. 그리고 그 멸균센서(50)가 내장된 멸균장치와 멸균방법을 제안한다.본 발명의 멸균센서(50)는 멸균장치의 멸균챔버(100) 안에 설치되고 내부에 반응챔버를 갖는 통모양체로 이루어진다. 그리고 통모양체 양단의 커넥터(55, 57)를 통해서 상기 멸균장치 본체와 연결되며, 상기 반응챔버 안에 과산화수소를 주입하는 과산화수소 주입부와 상기 통모양체의 양단에 고전압을 인가하여 반응챔버를 플라즈마 상태로 만드는 플라즈마 발생부가 설치되고, 플라즈마 상태의 과산화수소 라디칼을 상기 멸균장치의 멸균챔버로 배출함으로써 멸균 오브젝트를 멸균하는 것을 특징으로 한다.
