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テトラカルボン酸ジエステル化合物、ポリイミド前駆体の重合体及びその製造方法、ネガ型感光性樹脂組成物、パターン形成方法、及び硬化被膜形成方法
- 专利权人:
- 信越化学工業株式会社
- 发明人:
- 竹村 勝也,浦野 宏之,飯尾 匡史,提箸 正義,長谷川 幸士
- 申请号：
- JP20160145802
- 公开号：
- JP2018016554(A)
- 申请日:
- 2016.07.25
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】汎用的で安全な有機溶媒に可溶であり、ネガ型感光性樹脂組成物のポリイミドベース樹脂の構造単位として有用なテトラカルボン酸ジエステル化合物を提供。【解決手段】式（１）で示されるテトラカルボン酸ジエステル化合物。（Ｘ１は４価の有機基；Ｒ１は式（２）で示される基；点線は結合を表し、Ｙ１は（ｋ＋１）価の有機基；ＲｆはＨの一部又は全部がＦで置換されたＣ１〜２０の直鎖、分枝もしくは環状のアルキル基又は芳香族基；ｋは１、２、又は３；ｎは０又は１）【選択図】なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
