NIKON CORPORATION;NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY;国立研究開発法人産業技術総合研究所;株式会社ニコン
发明人:
IKEHARA Yuzuru,池原譲,SUZUKI Kousuke,鈴木広介
申请号：
JPJP2018/019505
公开号：
WO2018/216658A1
申请日:
2018.05.21
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要：
The present invention generates a clear image of a specific portion of a sample. An image capturing device according to the current embodiment is provided with: a light detection unit which detects second light, obtained by irradiating a sample with first light, and infrared light, obtained by irradiating the sample with infrared light； and a control unit which generates an original image from the detected infrared light and generates a sample image on the basis of the original image and a light emission position of the detected second light on the sample (see fig. 1).La présente invention concerne la génération d'une image claire d'une partie spécifique d'un échantillon. Un dispositif de capture d'image selon le mode de réalisation courant comporte : une unité de détection de lumière qui détecte une seconde lumière, obtenue par irradiation d'un échantillon avec une première lumière, et une lumière infrarouge, obtenue par irradiation de l'échantillon avec une lumière infrarouge； et une unité de commande qui génère une image d'origine à partir de la lumière infrarouge détectée et génère une image d'échantillon sur la base de l'image d'origine et d'une position d'émission de lumière de la seconde lumière détectée sur l'échantillon (voir figure 1).鮮明な、サンプルの特定部分の画像を生成する。本実施形態による撮像装置は、サンプルに第１光を照射して得られる第２光と、サンプルに赤外光を照射して得られる赤外光とを検出する光検出部と、検出した赤外光から元画像を生成し、検出した第２光の前記サンプルにおける発光位置と元画像とに基づいてサンプル画像を生成する制御部と、を備える（図１参照）。
