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光学式表面検査装置及び光学式表面検査方法
- 专利权人:
- 株式会社日立ハイテクファインシステムズ
- 发明人:
- 石原 歩,府川 正規
- 申请号：
- JP20150194175
- 公开号：
- JP2017067638(A)
- 申请日:
- 2015.09.30
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】被検査物に存在する凹凸のある欠陥の断面形状を検出して、欠陥をより細かく分類することが可能な光学式表面検査装置を提供する。【解決手段】正反射光検出系２２において、検査光が被検査物１の欠陥により反射された正反射光を、複数の検出素子２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄにより分割して受光して、各検出素子から検出信号を出力する。被検査物の欠陥を検出する処理装置は、正反射光検出系２２の複数の検出素子から出力され、ディジタル信号に変換された各検出信号を演算して、欠陥による正反射光の光軸の傾きを検出し、検出した正反射光の光軸の傾きの変化を示す信号を作成する演算部と、演算部により作成された正反射光の光軸の傾きの変化を示す信号を処理して、欠陥の断面形状を示す信号を作成する検出部とを有する。【
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
