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光学式表面検査装置及び光学式表面検査方法
- 专利权人:
- 株式会社日立ハイテクファインシステムズ
- 发明人:
- 府川 正規,石原 歩
- 申请号：
- JP20150194176
- 公开号：
- JP2017067639(A)
- 申请日:
- 2015.09.30
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】被検査物に存在する凹凸のある欠陥を精度良く検出する。【解決手段】演算部５２１は、欠陥による正反射光の光軸の傾きを検出する。比較部５２２は、正反射光の光軸の傾きを、プラス側の第１のしきい値及びマイナス側の第２のしきい値と比較して、正反射光の光軸の傾きが、第１のしきい値又は第２のしきい値を超えた超過点と、第１のしきい値又は第２のしきい値以内に復帰した復帰点と、超過点から復帰点までの間で、正反射光の光軸の傾きがプラス側又はマイナス側のピーク値となったピーク点とを検出する。検出部５２４は、超過点、復帰点、及びピーク点のデータから、超過点から復帰点までの、正反射光の光軸の傾きのプラス側の累積値又はマイナス側の累積値を検出し、判定部５２５は、正反射光の光軸の傾きのプラス側の累積
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
