PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sterile connecting device, capable of checking whether or not there is a heating plate member in a cassette placed in a case and the number of remaining wafers without visually recognizing them before connecting work of the tubes, and capable of smoothly performing sterile connection work of the tubes.SOLUTION: A sterile connecting device 1 has: a wafer cassette storage unit 82 for removably storing a wafer cassette WC a presence or absence detection sensor 101 for wafer WF, which detects whether or not the wafers WF are stored in the wafer cassette WC positioned in the wafer cassette storage unit 82 a remaining amount detection sensor 102 for wafer WF, which detects the number of remaining wafers WF stored in the wafer cassette WC and a control unit 100 for recognizing whether or not the wafer WF remains in the wafer cassette WC and the number of remaining wafers according to a signal from the presence or absence detection sensor 101 and a signal from the remaining amount detection sensor 102.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】筐体内に配置されているカセット内の加熱用板部材の有無の確認とウェハーの残っている枚数の確認をチューブの接合作業の前に目視によらずに確認することができ、チューブの無菌接合作業をスムーズに行うことができる無菌接合装置を提供する。【解決手段】無菌接合装置1は、ウェハーカセットWCを着脱可能に収納するためのウェハーカセット収納ユニット82と、ウェハーカセット収納ユニット82内に位置決めされたウェハーカセットWC内にウェハーWFが収納されているかどうかを検出するウェハーWFの有無検出センサ101と、ウェハーカセットWC内に収納されているウェハーWFの残量枚数を検出するウェハーWFの残量検出センサ102と、有無検出センサ101からの信号と、残量検出センサ102からの信号により、ウェハーカセットWC内にウェハーWFが残っているかどうかの有無と残量枚数を認識する制御部100を有する。【選択図】図22
