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Vorrichtung und Verfahren zur Bestrahlung eines Substrats mit ultravioletter oder infraroter Strahlung und Verwendung der Vorrichtung
专利权人:
Heraeus Noblelight GmbH
发明人:
Ralf Pretsch,Karl-Wilhelm Brieden
申请号:
DE102015114691
公开号:
DE102015114691A1
申请日:
2015.09.02
申请国别(地区):
DE
年份:
2017
代理人:
摘要:
Bekannte Vorrichtungen zur Bestrahlung eines Substrats mit ultravioletter oder infraroter Strahlung weisen ein Gehäuse auf, in dem eine Bestrahlungslampe mit einem Lampenrohr, und ein Reflektor angeordnet sind. Bei diesen Vorrichtungen legt das Lampenrohr eine Lampenrohr-Längsachse fest, und der Reflektor erstreckt sich in einer Richtung der Lampenrohr-Längsachse. Um hiervon ausgehend eine Bestrahlungsvorrichtung anzugeben, die einfach zu warten ist und eine hohe Lebensdauer aufweist, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass der Reflektor auf das Lampenrohr aufgebracht ist, und dass die Bestrahlungslampe in dem Gehäuse derart gehaltert ist, dass sie um die Lampenrohr-Längsachse relativ zu dem Gehäuse drehbar ist.Known devices for the irradiation of a substrate with ultraviolet or infrared radiation, have a housing, in which an irradiation lamp with a lamp tube, and a reflector are arranged. In the case of these devices, the lamp tube a lamp tube - longitudinal axis, and the reflector extends in a direction of the lamp tube - longitudinal axis. In order to provide an irradiating device, which is easy to service, and has a long operating life, it is proposed according to the invention that, the reflector on the lamp tube is applied, and that said irradiating lamp in the housing is held in such a way that it passes around the lamp tube - longitudinal axis relative to the housing is rotatable.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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