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SPECTRAL INTERFEROMETRY METHOD AND APPARATUS
专利权人:
发明人:
申请号:
EP04768882.5
公开号:
EP1687586B1
申请日:
2004.10.14
申请国别(地区):
EP
年份:
2015
代理人:
摘要:
A spectral interferometry apparatus and method is provided to supply unambiguous profiles (A - scans free of mirror terms) of the reflectivity versus optical path difference and make difference between the positive and negative optical path difference or provide output in a selected interval of optical path differences. The apparatus comprises object optics that transfer a beam from an optical source to a target object (55) to produce an object beam and reference optics that produce a reference beam. Displacing means (57) are provided to produce a gap (g) between the object beam (41’) and the reference beam (42’). Optical spectrum dispersing means (7) such as a grating or a prism receive the two relatively displaced beams, and disperse their spectral content onto a reading element such as a CCD. The combination of the displacing means and the optical spectrum dispersing means creates an intrinsic optical delay between the wavetrains of the object beam and the reference beam which can be used with the optical path difference in the interferometer to generate a channelled spectrum for the optical path difference in the interferometer on the reading element.Linvention concerne un appareil et une méthode dinterférométrie spectrale destinés à fournir des profils non ambigus (des balayages A exempts de termes miroirs) de la difference de réflectivité par rapport à la de trajectoire optique, et permettant de distinguer entre la différence de trajectoire optique positive et la différence de trajectoire optique négative ou de fournir une sortie à un intervalle sélectionné des différences de trajectoire optique. Lappareil comprend les objets optiques permettant de transférer un faisceau dune source optique à un objet cible (55), pour produire un faisceau objet, et des éléments optiques de référence pour produire un faisceau de référence. Un moyen de déplacement (57) permet de produire un espace (g) entre le faisceau objet (41) et le faisceau de référence (42). Un moyen de di
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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