An embodiment of the scanning optical system 10 comprises: a light source 22 providing a beam 38 of pulsed light in a very short pulse duration； A deflector (26) for deflecting the beam through the scan angle； A lens system including a focusing objective (30) for focusing a deflected beam； A dispersion compensating device (25) comprising a deformable dispersion mirror (42) and an actuator device (44) for the mirror, for reducing dispersion related distortion of the pulse of the beam of the lens system； And a controller 18 for controlling the actuator device to change the shape of the mirror according to the scan angle.스캐닝 광학 시스템(10)의 실시예는: 초단 펄스 지속기간의 펄스 광의 빔(38)을 제공하는 광원(22)； 스캔 각도를 통해 빔을 편향시키기 위한 편향기(26)； 편향된 빔을 포커싱하기 위한 포커싱 대물렌즈(30)를 포함하는 렌즈 시스템； 렌즈 시스템의 빔의 펄스의 분산 관련 왜곡을 감소시키기 위한, 변형 가능한 분산 미러(42) 및 미러를 위한 액추에이터 디바이스(44)를 포함하는, 분산 보상 디바이스(25)； 및 스캔 각도에 따라 미러의 형상을 변화시키도록 액추에이터 디바이스를 제어하기 위한 제어기(18)를 포함한다.
