LEE, SEUNG HO,LEE, MYUNG SOO,JUNG, BOO YONG,KIM, MOON JU
申请号：
KR20170080516
公开号：
KR20180002523(A)
申请日:
2017.06.26
申请国别(地区):
韩国
年份:
2018
代理人:
摘要：
박막의 생성 및 결합 조건을 조절함으로써 고품질의 박막을 제조할 수 있는 고밀도 박막증착을 위한 증착장치가 개시된다. 이는 공정 소스부의 배치 및 간격을 조절하거나 배기 공간의 높이를 조절함으로써 박막의 특성 및 증착 속도를 조절할 수 있어 공정 특성을 향상시킬 수 있다. 또한, 다수의 공정 소스부를 소정의 간격으로 이격되게 배치한 후, 소스 이동부를 이용하여 공정 소스부를 짧은 거리 이동시켜 증착 공정을 수행할 수 있기 때문에 고밀도 박막 증착이 가능하고 공정 시간을 단축시킬 수 있는 고밀도 박막증착을 위한 증착장치를 제공한다.
