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基于柔性衬底的可调节焦距的电容微机械超声换能器阵列
- 专利权人:
- 天津大学
- 发明人:
- 栗大超,张小丽,于海霞
- 申请号：
- CN201811203737.8
- 公开号：
- CN109589132A
- 申请日:
- 2018.16.10
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2019
- 代理人:
- 摘要：
- 一种基于柔性衬底的可调节焦距的电容微机械超声换能器阵列,包括有由CMUT单元构成的CMUT阵元,还设置有由柔韧性易变形材质构成的柔性衬底,若干个所述的CMUT阵元等间隔的设置在所述柔性衬底上,每一个所述CMUT阵元的阵元上电极和阵元下电极分别连接外部驱动电路。本发明中柔性衬底是柔韧易变形材质,多个CMUT阵元被均匀排布并固定在柔性衬底上,通过不同曲率半径的塑料片或刚性条等结构支撑件上,实现CMUT单元的机械变焦,或者通过机械结构控制结构支撑件改变其曲率半径,以实现机械变焦,或者直接改变柔性衬底(PDMS)的曲率半径,以实现实时变焦;本发明可用于超声成像或超声治疗等领域,通过改变焦距以达到改善成像或治疗范围。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
