酸化アルミニウム膜の製造方法及び酸化アルミニウム膜の製造原料
- 专利权人:
- 宇部興産株式会社
- 发明人:
- 白井 昌志,二瓶 央,宮崎 貴匡,向 純一
- 申请号：
- JP20150153093
- 公开号：
- JP2017034103(A)
- 申请日:
- 2015.08.03
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】高品位な酸化アルミニウム膜を製造し得る酸化アルミニウム膜の製造方法を提供する。【解決手段】４００〜６５０℃に加熱された成膜対象物上に、下記式（１）で示されるアルミニウム化合物を供給し、酸化することにより酸化アルミニウム膜を形成する、酸化アルミニウム膜の製造方法。【化１】（式中、Ｒは炭素原子数１〜４の直鎖状又は分岐状のアルキル基を示し、ふたつのＲは同一又は異なっていても良い。ＴＭＳはトリメチルシリル基を示す。）【選択図】なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
