A charged particle beam irradiation field can be secured widely. An X-direction scanning coil (21A, 21B) or a Y-direction scanning coil (22A) for deflecting and scanning the charged particle beam (1) in an X direction or a Y direction orthogonal to a traveling direction (S direction) of the charged particle beam (1). 22B, and these scanning coils are arranged opposite to each other in a direction orthogonal to the traveling direction (S direction) and the beam deflection direction (X direction or Y direction) with the orbital position of the charged particle beam interposed therebetween. Are provided such that their inner diameters (for example, Rc and Ro) gradually increase from the upstream side to the downstream side along the traveling direction (S direction) of the charged particle beam, and the inner peripheral position P is charged. It is configured to be held at a certain distance Rc or more from the particle beam 1. [Selection diagram] FIG.【課題】荷電粒子ビームの照射野を広く確保できること。【解決手段】荷電粒子ビーム１の進行方向（Ｓ方向）に対して直交するＸ方向またはＹ方向に荷電粒子ビーム１を偏向させて走査するＸ方向走査コイル２１Ａ、２１ＢまたはＹ方向走査コイル２２Ａ、２２Ｂを備え、これらの走査コイルは、荷電粒子ビームの軌道位置を挟んで、進行方向（Ｓ方向）及びビーム偏向方向（Ｘ方向またはＹ方向）に対し直交する方向に対向して配置され、これらの走査コイルは、その内径（例えばＲｃ、Ｒｏ）が、荷電粒子ビームの進行方向（Ｓ方向）に沿って上流側から下流側へ漸次増大して設けられると共に、その内周位置Ｐが、荷電粒子ビーム１に対して一定の距離Ｒｃ以上に保持されるよう構成されたものである。【選択図】図８
