The illuminating device includes a light source unit including a semiconductor laser 101 that emits coherent light, and a polarization separation including a rutile 111, a half retardation film 112, and a rutile 113 that separate optical paths according to the polarization direction of incident light. Between the polarization component of the light transmitted through each optical path separated by the polarization separation unit and the polarization component of the light transmitted through one of the optical paths. And a projection polarization switching mechanism including a half-wave plate unit 105, a quarter-wave plate unit 107, and a polarizing film 114. Thereby, the small illuminating device which shared the light source and optical system of observation illumination and measurement illumination, and a measuring device using the same can be provided.照明装置は、可干渉性を有する光を射出する半導体レーザー１０１を含む光源部と、入射した光の偏光方向により光路を分離するルチル１１１、1/2位相差フィルム１１２、ルチル１１３を含む偏光分離部と、偏光分離部から出射して投影される光を、偏光分離部で分離されるそれぞれの光路を透過した光の偏光成分と、何れか一つの光路を透過した光の偏光成分との間で切り替える1/2波長板ユニット１０５、1/4波長板ユニット１０７および偏光フィルム１１４を含む投影偏光切替機構とを備える。これにより、観察用照明及び計測用照明の光源および光学系を共通化した小型の照明装置及びこれを用いた計測装置を提供することができる。
