A system and technique for monitoring of one or more parameters of a sample are presented. The system comprising: an illumination unit configured for providing coherent illumination of at least two wavelength ranges and for directing said coherent illumination onto an inspection region, and a collection unit configured for collecting light returning from the inspection region and generate one or more image data pieces associated with speckle pattern generated at an intermediate plane between said inspection region and said collection unit. The use of illumination having at least two different wavelength ranges provides generation of speckles associated with mutual- interference of light of the different wavelength ranges, enabling higher efficiency and stability with respect to movement of the inspection region.L'invention concerne un système et une technique pour surveiller un ou plusieurs paramètres d'un échantillon. Le système comprend : une unité d'éclairage configurée pour assurer un éclairage cohérent à au moins deux plages de longueurs d'onde et pour diriger ledit éclairage cohérent sur une région d'inspection, et une unité de collecte configurée pour collecter la lumière revenant de la région d'inspection et pour générer une ou plusieurs données d'image associées à un motif de granularité généré au niveau d'un plan intermédiaire entre ladite région d'inspection et ladite unité de collecte. L'utilisation d'un éclairage présentant au moins deux plages de longueurs d'onde différentes assure la génération de granularités associées à l'interférence mutuelle de la lumière des différentes plages de longueurs d'onde, permettant une efficacité et une stabilité supérieures en ce qui concerne le mouvement de la région d'inspection.
