一种用来监测帕金森综合征的柔性振动传感器加工方法
- 专利权人:
- 西北工业大学
- 发明人:
- 王学文,樊宇波,高久伟,赵武,黄维
- 申请号：
- CN201911416563.8
- 公开号：
- CN111150368A
- 申请日:
- 2019.31.12
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开了一种用来监测帕金森综合征的柔性振动传感器加工方法,包括以下步骤:旋涂光刻胶,曝光,显影,蒸镀Ni膜,除胶与清洗,生长CA自交联阵列,转移至柔性基板,清洗及剥离,传感器制作。本发明中生产出的柔性振动传感器具有功耗低、稳定性高、灵敏度高等优点,故在可穿戴健康监测方面具有巨大的应用潜力,在制造具有低成本、耐用的柔性传感器方向具有巨大潜力。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
