湿度传感器及其制备方法、可穿戴湿度传感系统和应用
- 专利权人:
- 中国科学院半导体研究所
- 发明人:
- 沈国震,史瑞龙,杨珏晗,娄正
- 申请号：
- CN201911299692.3
- 公开号：
- CN110940708A
- 申请日:
- 2019.16.12
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 一种湿度传感器及其制备方法、可穿戴湿度传感系统和应用,该湿度传感器包括衬底;电极,其设置在衬底上;以及湿敏材料,其在电极上形成纳米探测阵列。本发明所采用的制备MoO3纳米片的方法具有产率高、操作简单、成本极低的优点;本发明所述的高性能的湿度传感器与检测电路形成的可穿戴系统,可以实现对于环境湿度的实时监控以及非侵入式人体呼吸监测,与传统湿度和呼吸监测方法相比,本发明的系统更简单,成本更低,并且更适合日常和家庭监控。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
