一种可延展柔性的光电针灸器件及其制备方法
- 专利权人:
- 中国科学院半导体研究所
- 发明人:
- 徐云,陈华民,白霖,宋国峰
- 申请号:
- CN201810339609.X
- 公开号:
- CN108815714B
- 申请日:
- 2018.16.04
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明提供了一种可延展柔性光电针灸器件的制备方法,包括以下步骤:步骤1、制备可延展柔性光电针灸探头阵列;步骤2、在可延展柔性光电针灸探头阵列的底面涂覆可延展柔性绝缘材料,完成封装,形成可延展柔性光电针灸器件。本发明还提供了一种可延展柔性光电针灸器件,其包括:可延展柔性光电针灸探头阵列、可延展柔性绝缘材料,可延展柔性绝缘材料涂覆在可延展柔性光电针灸探头阵列的表面。本发明是把传统的无机半导体器件和有机柔性可延展基底相结合的新型柔性无机集成器件,既保留了无机器件的诸多优点,又具备了柔性和可延展性以及防水、人体生物组织相容性等功能。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心