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制御装置及び制御方法
专利权人:
CANON INC
发明人:
MAKIHIRA TOMOYUKI,牧平 朋之,IWASE YOSHIHIKO,岩瀬 好彦,SATO MAKOTO,佐藤 眞,MIYATA KAZUHIDE,宮田 和英,ARAHATA HIROYUKI,新畠 弘之,TOMITA RITSUYA,富田 律也,KIBE DAISUKE,木辺 乃介
申请号:
JP2013008622
公开号:
JP2013165961A
申请日:
2013.01.21
申请国别(地区):
JP
年份:
2013
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a control apparatus and a control method capable of performing calibration of the polarization state.SOLUTION: A control apparatus includes an irradiation unit configured to irradiate a measurement object with a measuring beam, a restriction unit configured to restrict the measuring beam from being incident on the measurement object and to reflect or scatter the measuring beam, and a polarization control unit configured to control, based on the measuring beam reflected or scattered by the restriction unit, polarization of the measuring beam.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】 偏光状態を校正することが可能とする。【解決手段】 被検眼に測定光を照射する照射手段と、前記被検眼へ前記測定光の入射を制限するとともに、前記測定光を反射又は散乱する制限手段と、前記制限手段により反射又は散乱された光に基づいて前記測定光の偏光を制御する偏光制御手段と、を備える。【選択図】 図2
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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