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DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR PLASMA
专利权人:
Feagle Co.; Ltd
发明人:
LEE, Hyunyoung,CHOI, Jeonghae,SONG, Yeonsuk
申请号:
EP16911687
公开号:
EP3495020A4
申请日:
2016.08.02
申请国别(地区):
EP
年份:
2019
代理人:
摘要:
Disclosed is a plasma treatment apparatus that includes a cover attached to a body part, a plasma generation unit that generates plasma and provides the plasma to the cover, a gas supply unit that supplies a source gas for generating the plasma to the plasma generation unit, and an exhaust unit that exhausts an exhaust gas from the cover.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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